TüV南德與北方華創聯合發布《氫氦工藝氣體爆炸性研究及測試》論文

中國/北京   3月8日，TÜV南德意志集團（以下簡稱“TÜV南德”）大中華區工業產品部與北方華創微電子裝備有限公司（以下簡稱“北方華創”）聯合發布的項目論文《氫氦工藝氣體爆炸性研究及測試》被權威行業期刊《電氣防爆》采納，并錄入中國核心期刊（遴選）數據庫。TÜV南德大中華區防爆服務部高級經理Ing. Kristof De Gersem先生作為TÜV南德代表參與了論文的審核等工作。

（TÜV南德Ing. Kristof De Gersem先生審核確認技術方案）

《氫氦工藝氣體爆炸性研究及測試》該篇論文旨在判定半導體生產過程中關于氫氦和混合氣體的爆炸性風險，對芯片生產過程中使用的指定比例的氫氦混合物運用多種理論上的計算和分析，最后設計出一組實驗裝置來驗證分析結果，也為半導體氣體惰化過程工藝提供理論和試驗參考。北方華創作為半導體行業領軍企業，曾在SEMI S2等認證項目中與TÜV南德有過深入合作。TÜV南德作為歐盟ATEX防爆指令的指定機構之一，深耕市場多年，積累了的豐富的經驗。此次參與北方華創的氫氦工藝氣體爆炸性課題的研究與實驗設計，體現了TÜV南德本地專家在防爆領域的專業性。

TÜV南德始終認為基礎性研究并非只是半導體行業相關方的工作，作為全球知名第三方安全認證服務機構也有責任和義務為半導體行業的發展做出應有的貢獻。Ing. Kristof De Gersem表示，“TÜV南德很榮幸能攜手本土半導體企業不斷探索，雙方充分發揮各自在行業、資源、技術人員等方面優勢，深入進取，為半導體行業發展貢獻綿薄之力。”

 
（TÜV南德工程師設計并執行測試）

關于北方華創

北方華創科技集團股份有限公司是由北京七星華創電子股份有限公司和北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司戰略重組而成，是目前國內集成電路高端工藝裝備的先進企業。公司主營半導體領域產品，現有四大產業制造基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區。

關于《電氣防爆》期刊

《電氣防爆》雜志創刊于1959年，是由（原）國家科委批準、南陽防爆電氣研究所主辦的、是我國唯一向國內外公開發行的國家級電氣防爆專業技術刊物。期刊以服務和指導電氣防爆安全、促進防爆安全技術及產品進步為辦刊宗旨。主要刊登我國當前科技、教育、管理等方面具有一定學術和應用價值的學術文獻和反映防爆電氣技術學科領域的新成果、新工藝、新產品等方面的文章。